過濾效率:

HEPAMPPS:≥99.5%(H12);          DOP:≥99.9%@0.3μm

MPPS:≥99.95%(H13);      　 DOP:≥99.97%@0.3μm

MPPS:≥99.995%(H14);        DOP:≥99.99%@0.3μm

ULPA

MPPS:≥99.9995%(U15)       DOP:≥99.9995%@0.1~0.2μm

MPPS:≥99.99995%(U16)      DOP:≥99.99995%@0.1~0.2μm

MPPS:≥99.999995%(U17) 　  DOP：≥99.999995% @0.1~0.2μm

最高溫度:80°C

最高濕度:100%RH

運行溫度:≤80°C