等離子有機廢氣凈化器在氣態污染物治理方面優勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產生高能電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到消除氣態污染物的目的。1980年代，日本東京大學S．Masuda教授提出的高壓脈沖電暈放電法是常溫常壓下得到低溫等離子體的最簡單、最有效的方法。它已成為目前的研究前沿，也正越來越多的用于氣態污染物的治理。有機廢氣污染源分布廣泛。為防止污染，除減少石油損耗、減少有機溶劑用量以減少有機廢氣的產生和排放外，排氣凈化是目前切實可行的治理途徑。常用的方法有吸附法、吸收法、催化燃燒法、熱力燃燒法等。選用凈化方法時，應根據具體情況由縣選用費用低、耗能少、無二次污染的方法，盡量做到化害為利，充分回收利用成分和余熱。多數情況下，石油化工業因排氣濃度高，采用冷凝、吸收、直接燃燒等方法;涂料施工、印刷等行業因排氣濃度低，采用吸附、催化燃燒等方法。選用凈化方法時，應根據具體情況由縣選用費用低、耗能少、無二次污染的方法，盡量做到化害為利，充分回收利用成分和余熱。多數情況下，石油化工業因排氣濃度高，采用冷凝、吸收、直接燃燒等方法;涂料施工、印刷等行業因排氣濃度低，采用吸附、催化燃燒等方法。
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