PM2.5傳感器是一款采用激光散射原理的車用粉塵傳感器，可精確檢測并計算單位體積內(nèi)空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個數(shù)，通過數(shù)學算法及科學標定輸出顆粒物質(zhì)量濃度。
PM2.5傳感器平板顯示制程良率受微粒污染和靜電損害影響
以TFT-LCD為代表的顯示面板生產(chǎn)過程主要有三個工序Array、Cell和Module，制造程序復雜，制造過程中需要進行嚴格的環(huán)境管控，減少對產(chǎn)品的損害。OLED因其構造簡單，制造流程不像LCD那樣復雜，但也需要在潔凈環(huán)境中生產(chǎn)。在平板顯示制程中影響產(chǎn)品良率的污染物有很多，包括金屬離子、氣態(tài)分子污染物、微粒、細菌以及靜電等，其中對LCD和OLED制程良率影響的是微粒污染和靜電損害。
·微粒污染
隨著器件微型化和精細化進程的加快，高密度的集成電路的圖形特征尺寸和表面沉積層的厚度都已經(jīng)降到微米級別，更容易受到微粒的影響，基板表面微粒沉積，易引起基板點缺陷甚至線缺陷特性不良，降低良品率。
PM2.5傳感器
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