真空泵機組冶金設備，在冷爐預抽和熱態冶煉時的氣源大致有:①被抽空間內的大氣(與被抽容積有關)，②真空泵機組工藝過程中放出的氣體(包括生成的和引入的氣體，與時間、沮度、壓強和生產工藝有關)，③裸露在真空中的表面放氣(與材料的種類、表面積、時間、溫度和壓強等有關)，④漏入及滲透的氣體(與系統元件的漏氣率、設備的動、靜密封構件的焊接質量以及結構材質有關)，⑤由材料蒸汽壓引起的揮發性氣體(與溫度和壓強有關)。 為保證冶金工藝過程的需要，真空系統的設計就是針對上述所需抽除的氣體流眾，來選擇合適的各種真空元件—泵和閥門等，并按抽氣過程提出合理的布置方案，以達到抽除被抽空間內的氣體，克服放氣和漏氣，使真空室始終能保持所需的真空度。
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