光氧催化設備與其他廢氣處理設備相比，不僅可以凈化有機廢氣還可以消毒殺菌，這得益于裝置中高能臭氧UV紫外線極強的氧化性，可以破壞細菌病毒的DNA分子結(jié)構(gòu)。

在凈化有機廢氣方面，光氧催化設備可處理的廢氣成分有：氨、C3H9N、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳、C8H8、硫化物、VOC類、C6H6、C7H8、C8H10等。

光氧催化廢氣處理設備的作用機理是：利用高能高臭氧UV紫外線光束（以下簡稱UV紫外線光束）裂解廢氣分子結(jié)構(gòu)，使有機高分子化合物分子鏈斷裂，轉(zhuǎn)變成CO2、H2O等低分子無機化合物。

UV紫外線光束可以把空氣中的氧分子裂解生成游離氧（即活性氧），因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，產(chǎn)生臭氧。反應方程式如下：

UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)

臭氧對有機物具有較強的氧化作用，尤其是對工業(yè)有機廢氣。廢氣經(jīng)排風設備通入到反應室后，UV紫外線光束及臭氧對廢氣進行分解氧化反應，使之降解為低分子化合物，再通過排風管道排出室外。

初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子，當能量超過氧分子的電離電位時，氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結(jié)合變成負極性氧離子（O2-），結(jié)果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等聚集的離子群，可在很短的時間內(nèi)將污染空氣中的有害成分氧化分解為無害的產(chǎn)物和水；

此外UV紫外線光束還可以破壞細菌的DNA序列以達到殺菌消毒的目的。從廢氣處理的角度考慮，采用脈沖電暈吸附技術(shù)，-C波段紫外線結(jié)合電暈裝置，可破壞硫化氫、氨、C6H6、C7H8、C8H10、甲醛、乙酸乙酯、乙烷、C3H6O、尿烷、樹脂等廢氣分子的分子結(jié)構(gòu)，使有機物轉(zhuǎn)變?yōu)闊o機物。