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冷陰極電離真空規(guī)

Inficon冷陰極電離真空規(guī)MAG470，測(cè)量范圍為5 × 10^-¹¹mbar到1 × 10^-2mbar (3.8 × 10 ^-11 Torr 到 7.5 × 10 ^-3 Torr)。

優(yōu)勢(shì)

· 沒(méi)有燒壞的燈絲

· 加長(zhǎng)版，傳感器輸出溫度可達(dá)250℃

· 優(yōu)異的點(diǎn)火性能

· 易清洗

· 金屬密封通道

· LED高電壓指示燈

· 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)

應(yīng)用

· 超高真空壓力監(jiān)測(cè)

· 蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的基本壓力

· 中高真空范圍內(nèi)的通用真空測(cè)量與控制

規(guī)格

		MAG470 MAGA470擴(kuò)展
測(cè)量范圍（空氣，氮?dú)?/span>)	mbar (Torr)	5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3)
精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar	%	≈±30%
重復(fù)性1×10 -9…1×10 -3mbar	%	≈±5%
安裝方位		不限
容許壓力	Bar（絕對(duì)）	≤10（限于惰性氣體）
容許溫度操作（環(huán)境）儲(chǔ)存輸出	℃ ℃ ℃	+5 … +55 –40 … +65 2501)(擴(kuò)展版 2)
電源電壓標(biāo)準(zhǔn) 最大供電量 3 電壓頻率	V (dc) V (dc) Vpp	+15…+30 +16…+30 ≤1
耗電量	W	≤2
保險(xiǎn)絲連接	AT	≤1
輸出信號(hào)（測(cè)量信號(hào)）電壓范圍測(cè)量范圍	V V	0…+10.5 +1.96…+8.6
相對(duì)壓力誤差	V	對(duì)數(shù), 0.8 V/decade <0.5 (無(wú)供應(yīng))
輸出電阻最小負(fù)載電阻	Ω KΩ	2 × 10 10、防短路
響應(yīng)時(shí)間 p>10-6mbar p=10-8mbar	MS MS	<10 ≈1000
識(shí)別量規(guī)	KΩ	7.15，供參考使用
電氣連接傳感器電纜電纜長(zhǎng)度	M	FCC 68電器連接器，8極，內(nèi)螺紋 8極加屏蔽 ≤50(8×0.14mm2)
工作電壓工作電流	kV μA	≤3.3 ≤100
暴露于真空中的材料		不銹鋼，氧化鋁，銀，
內(nèi)部容積	cm3	≈20
重量 DN 40 CF-F	g	≈950≈1100
保護(hù)類別		IP 40
標(biāo)準(zhǔn)		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

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