在真空腔體內，水汽分子是最典型的環境污染氣體，占腔內殘余氣體 65% 到 95% ，當真空度達到 10-2Pa時，水汽分子用平常真空泵難排出腔體，是典型的最具副作用的污染氣體，是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響。為了快速的達到較高的真空度，COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔內的水汽，輔助抽真空，在極短的時間達到需求的真空度

COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理將一個冷阱盤管或擋板，放置在真空室內的腔壁上或油擴散泵的泵口，通過制冷盤管表面，實現低溫冷凝效應，迅速捕集集真空泵統的水汽分子或其它殘余氣體分子，從而獲得潔凈的真空環境，提高產品的產量和質量，改善鍍膜的品質，提高薄膜的附著力和多層鍍膜能力。

COOL系列水汽深冷捕集泵有單級和雙級的配置，雙級制冷可單獨控制每一路的制冷，兩路冷阱盤管或擋板都能被快速除霜。

特點

最大水汽抽速366000L/s

快速捕集水汽、油蒸汽；抽真空時間最多可縮短75%

溫度可達到-120℃至-150℃

產品吞吐量的20%上升到100%

在成本/性能上優于液氮制冷

制冷量最大可達4000W

環保型混合冷媒滿足所有適用地區的環境要求（京都國際協議）。

自動化控制，支持遠程通訊

高清觸摸屏，方便操作的面板控制

雙級制冷回路配置