產品描述

上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 離子源, 100%原廠原裝進口.

KRI 射頻離子源 RFICP 380 屬于大面積射頻離子源, 離子束流: >1500 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.

離子束可聚焦, 平行, 散射.

采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.

離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝.

通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 380 產品特性：

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 380 特性:

1. 大面積射頻離子源

2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求

3. 采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求

4. 離子束流: >1500 mA

5. 離子動能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自動控制器, 一鍵自動匹配

8. RF Generator 可根據工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW

9. 離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝

10. 柵極材質鉬和石墨, 堅固耐用

11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O₂, N₂, H_2, others

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術參數：

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術參數：