國產SiC碳化硅MOSFET功率器件可靠性及一致性如何確保?
電力電子系統研發制造商一般需要碳化硅MOSFET功率器件供應商提供可靠性測試報告的原始數據和器件封裝的FT數據。
SiC碳化硅MOSFET可靠性報告原始數據主要來自以下可靠性測試環節的測試前后的數據對比,通過對齊可靠性報告原始數據測試前后漂移量的對比,從而反映器件的可靠性控制標準及真實的可靠性裕量。SiC碳化硅MOSFET可靠性報告原始數據主要包括以下數據:
SiC碳化硅MOSFET高溫反偏High Temperature Reverse Bias HTRB Tj=175℃VDS=100%BV
SiC碳化硅MOSFET高溫柵偏(正壓)High Temperature Gate Bias(+) HTGB(+) Tj=175℃VGS=22V
SiC碳化硅MOSFET高溫柵偏(負壓)High Temperature Gate Bias(-) HTGB(-) Tj=175℃VGS=-8V
SiC碳化硅MOSFET高壓高濕高溫反偏High Voltage, High Humidity, High Temp. Reverse Bias HV-H3TRB Ta=85℃RH=85%VDS=80%BV
SiC碳化硅MOSFET高壓蒸煮Autoclave AC Ta=121℃RH=100%15psig
SiC碳化硅MOSFET溫度循環Temperature Cycling TC -55℃ to 150℃
SiC碳化硅MOSFET間歇工作壽命Intermittent Operational Life IOL △Tj≥100℃Ton=2minToff=2min
FT數據來自碳化硅MOSFET功率器件FT測試(Final Test,也稱為FT)是對已制造完成的碳化硅MOSFET功率器件進行結構及電氣功能確認,以保證碳化硅MOSFET功率器件符合系統的需求。
通過分析碳化硅MOSFET功率器件FT數據的關鍵數據(比如V(BR)DSS,VGS(th),RDS(on),
IDSS)的正態分布,可以定性碳化硅MOSFET功率器件材料及制程的穩定性,這些數據的定性對電力電子系統設計及大批量制造的穩定性也非常關鍵。
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