美國考夫曼公司 KRI 霍爾離子源控制器已成功替換取代 Veeco Commonwealth 控制器, 完全不需更改任何鍍膜機計算機程序及相關設定即可直接運做.

KRi (考夫曼) 霍爾源控制器有全自動控制器 (Auto Co***oller), 燈絲控制器 (Filament Co***oller),陽極控制器 (Discharge Co***oller), 運作時選擇全自動匹配 (Auto Gas), 半自動 (Manual Gas) 匹配及全手動匹配 (Gas Only) 三種操作選項. 在全自動逼配模式自動控制器依照客戶所設定之陽極電流 (Vd) 及陽極電壓 (ID) 自動調整氣體以維持工藝所需要的離子束能量. 全自動控制器可以記憶四組離子參數(shù), 工藝中更換參數(shù)組別時可以在離子束點火中直接切換參數(shù)組別, 不需重新熄火做點燃離子束, 以達到最穩(wěn)定的離子束狀態(tài).

實際案例:

1. 設備: 1.3 米鍍膜機.
2. 基材: 塑料護目鏡.
3. 離子源條件: Vb:140V(離子束陽極電壓), Ib:2.5A(離子束陽極電流), O2 gas: 9sccm(氧氣).
4. 圖片:

上海伯東是美國考夫曼離子源 Kaufman & Robinson, Inc 中國總代理. 美國 KRI 霍爾離子源全自動匹配, 四組參數(shù)記憶, 可同時控制四種氣體流量的設計, 絕對可以提供更方便的操做及獲得更穩(wěn)定的離子束.可以完全替換 Veeco, Commonwealth, 國產霍爾離子源控制器.

KRI 霍爾離子源控制器 (End Hall Co***oller) 型號: 全自動控器 (Auto co***oller), 燈絲控制器(Filament Co***oller), 陽極控制器 (Discharge Co***oller)

上海伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

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