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KRI離子源輔助鍍膜IAD時,霍爾離子源和考夫曼離子源哪個好

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   光學鍍膜是光學工業中最為重要的工藝之一,  其中離子源輔助鍍膜技術是一種目前技術先進的光學鍍膜技術.  離子源輔助鍍膜IAD的作用有:

1. 填充密度提高:折射率提高

2. 波長漂移減少

3. 紅外波段的水氣吸收減少

4. 增強了膜層的結合力、耐摩擦能力,  機械強度,  提高表面光潔度

5. 控制膜層的應力

6. 減少膜層的吸收和散射

7. 提高生產效率

 

離子源工作原理

在真空環境下,  利用發射的電子在電場合磁場的相互作用下,  使充入真空室的氣體產生離化,  在電場合磁場的作用下發射離子. 

 

上海伯東代理美國考夫曼公司霍爾離子源、考夫曼離子源和射頻離子源,  選擇哪類型離子源,  用于輔助鍍膜 IAD呢?今天就跟大家簡單介紹這三種離子源.

 

霍爾離子源

霍爾離子源屬于高濃度低動能型, 其主要構成結構有:

1. 燈絲

2. 陽極模組

3. 主要模組

4. 底座(可調整角度, 高度)

實圖如下:

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列在售型號及技術參數:

portant;">

離子源型號

portant;">

霍爾離子源

eH200(停產)

portant;">

霍爾離子源

eH400
eH400LE

portant;">

霍爾離子源

eH1000
eH1000LE
eH1000LO

portant;">

霍爾離子源

eH1000xO2

portant;">

霍爾離子源

eH2000
eH2000LE
eH2000HO

portant;">

霍爾離子源

eH3000
eH3000LO
eH3000MO

portant;">

Cathode/Neutralizer

portant;">

F or HC

portant;">

F or HC

portant;">

F or HC

portant;">

F or HC

portant;">

F or HC
HC
HC

portant;">

HC

portant;">

電壓

portant;">

30-300V

portant;">

50-300V
30-150V

portant;">

50-300V
30-150V
50-300V

portant;">

100-300V

portant;">

50-300V
30-150V
50-250V

portant;">

50-250V
50-300V
50-250V

portant;">

電流

portant;">

2A

portant;">

5A
10A

portant;">

10A
12A
5A

portant;">

10A

portant;">

10A
15A
15A

portant;">

20A
10A
15A

portant;">

散射角度

portant;">

>45

portant;">

>45

portant;">

>45

portant;">

>45

portant;">

>45

portant;">

>45

portant;">

可充其他

portant;">

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

portant;">

氣體流量

portant;">

1-15sccm

portant;">

2-25sccm

portant;">

2-50sccm

portant;">

2-50sccm

portant;">

2-75sccm

portant;">

5-100sccm

portant;">

高度

portant;">

2.0“

portant;">

3.0“

portant;">

4.0“

portant;">

4.0“

portant;">

4.0“

portant;">

6.0“

portant;">

直徑

portant;">

2.5“

portant;">

3.7“

portant;">

5.7“

portant;">

5.7“

portant;">

5.7“

portant;">

9.7“

portant;">

水冷

portant;">

portant;">

可選

portant;">

可選

portant;">

可選

portant;">

portant;">

可選

 

考夫曼離子源 KDC

考夫曼離子源 KDC屬于高濃度低動能型, 其主要構成結構有:

1.    Grid (柵極) 模組

2.    Out shell (外殼) 模組

3.    CathodeCathode moudlemoudle (陰極模組)

4.    Anode with Magnet assembly (陽極與磁力模組)

 

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術參數:

portant;">

離子源型號

portant;">

離子源 KDC 10

portant;">

離子源 KDC 40

portant;">

離子源 KDC 75

portant;">

離子源 KDC 100

portant;">

離子源 KDC 160

portant;">

Discharge

portant;">

DC 熱離子

portant;">

DC 熱離子

portant;">

DC 熱離子

portant;">

DC 熱離子

portant;">

DC 熱離子

portant;">

離子束流

portant;">

>10 mA

portant;">

>100 mA

portant;">

>250 mA

portant;">

>400 mA

portant;">

>650 mA

portant;">

離子動能

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

1 cm Φ

portant;">

4 cm Φ

portant;">

7.5 cm Φ

portant;">

12 cm Φ

portant;">

16 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦, 平行, 散射

portant;">

流量

portant;">

1-5 sccm

portant;">

2-10 sccm

portant;">

2-15 sccm

portant;">

2-20 sccm

portant;">

2-30 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長度

portant;">

11.5 cm

portant;">

17.1 cm

portant;">

20.1 cm

portant;">

23.5 cm

portant;">

25.2 cm

portant;">

直徑

portant;">

4 cm

portant;">

9 cm

portant;">

14 cm

portant;">

19.4 cm

portant;">

23.2 cm

portant;">

中和器

portant;">

燈絲

 

射頻離子源 RFICP

射頻離子源RFICP屬于高濃度低動能型, 其主要構成結構有:

1. 底座風冷風扇

2. Grid (柵極) 模組

3. RF Coil (射頻銅管)

4. 石英杯

5. LFN 2000 (燈絲) 中和器

 

射頻離子源 RFICP 系列技術參數:

portant;">

型號

portant;">

RFICP 40

portant;">

RFICP 100

portant;">

RFICP 140

portant;">

RFICP 220

portant;">

RFICP 380

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射頻

portant;">

RFICP 射頻

portant;">

RFICP 射頻

portant;">

RFICP 射頻

portant;">

RFICP 射頻

portant;">

離子束流

portant;">

>100 mA

portant;">

>350 mA

portant;">

>600 mA

portant;">

>800 mA

portant;">

>1500 mA

portant;">

離子動能

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

4 cm Φ

portant;">

10 cm Φ

portant;">

14 cm Φ

portant;">

20 cm Φ

portant;">

30 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦, 平行, 散射

portant;"> 
portant;">

流量

portant;">

3-10 sccm

portant;">

5-30 sccm

portant;">

5-30 sccm

portant;">

10-40 sccm

portant;">

15-50 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長度

portant;">

12.7 cm

portant;">

23.5 cm

portant;">

24.6 cm

portant;">

30 cm

portant;">

39 cm

portant;">

直徑

portant;">

13.5 cm

portant;">

19.1 cm

portant;">

24.6 cm

portant;">

41 cm

portant;">

59 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

 

以上是 KRI 霍爾離子源 / 考夫曼離子源 / 射頻離子源簡單介紹.

 

KRI 離子源輔助鍍膜 IAD 時, 霍爾離子源和考夫曼離子源, 哪個好? 其實從上面的介紹可以看出, 霍爾離子源和考夫曼離子源, 并沒有好與不好之分, 主要是看工藝的需求, 適合的才是最合適的.

 

關于選型, 如果您有什么問題,  歡迎通過下方聯系方式聯系我們.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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