伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):
portant;">
離子源型號(hào) |
portant;">
RFICP 220 |
portant;">
Discharge |
portant;">
RFICP 射頻 |
portant;">
離子束流 |
portant;">
>800 mA |
portant;">
離子動(dòng)能 |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
柵極直徑 |
portant;">
20 cm Φ |
portant;">
離子束 |
portant;">
聚焦, 平行, 散射 |
portant;">
流量 |
portant;">
10-40 sccm |
portant;">
通氣 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
portant;">
典型壓力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
portant;">
長(zhǎng)度 |
portant;">
30 cm |
portant;">
直徑 |
portant;">
41 cm |
portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長(zhǎng)度的增量
運(yùn)行結(jié)果:
1. KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 產(chǎn)生的離子束修正工藝作為一種非接觸式確定性光學(xué)加工方法, 不僅不會(huì)對(duì)元件表面施加作用力, 而且還具有加工精度高、去除函數(shù)穩(wěn)定、面形收斂速度快、無邊緣效應(yīng)和亞表面損傷等特點(diǎn), 非常適用于高精度 CGH 基底的加工.
2. 應(yīng)用離子束修正高精度 CGH 基底的加工工藝具有較大優(yōu)勢(shì), 不僅具有較高的加工效率而且可以獲得超高的加工精度
伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 羅先生 臺(tái)灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
[email protected] [email protected]
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!