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伯東考夫曼射頻離子源RFICP220用于修正高精度CGH基底

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   計(jì)算全息圖 CGH 作為零位補(bǔ)償器廣泛應(yīng)用于高精度非球面的檢測(cè), 但 CGH 的基底誤差直接限制了非球面的檢測(cè)精度. 某制造商為了獲得超高精度的 CGH 基底, 采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 產(chǎn)生的離子束用于修正高精度 CGH 基底的加工工藝.

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

portant;">

離子源型號(hào)

portant;">

RFICP 220

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射頻

portant;">

離子束流

portant;">

>800 mA

portant;">

離子動(dòng)能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

20 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦, 平行, 散射

portant;">

流量

portant;">

10-40 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長(zhǎng)度

portant;">

30 cm

portant;">

直徑

portant;">

41 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

* 可選: 燈絲中和器; 可變長(zhǎng)度的增量

 

運(yùn)行結(jié)果:

1. KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 產(chǎn)生的離子束修正工藝作為一種非接觸式確定性光學(xué)加工方法, 不僅不會(huì)對(duì)元件表面施加作用力, 而且還具有加工精度高、去除函數(shù)穩(wěn)定、面形收斂速度快、無邊緣效應(yīng)和亞表面損傷等特點(diǎn), 非常適用于高精度 CGH 基底的加工.

2. 應(yīng)用離子束修正高精度 CGH 基底的加工工藝具有較大優(yōu)勢(shì), 不僅具有較高的加工效率而且可以獲得超高的加工精度

 

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

 

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅先生                               臺(tái)灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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