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某鋰硫電池制造商采用伯東KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助濺射沉積制備鋰硫電池正極片.

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術參數:

portant;"> 射頻離子源型號	portant;"> RFICP380
portant;"> Discharge 陽極	portant;"> 射頻 RFICP
portant;"> 離子束流	portant;"> >1500 mA
portant;"> 離子動能	portant;"> 100-1200 V
portant;"> 柵極直徑	portant;"> 30 cm Φ
portant;"> 離子束	portant;"> 聚焦, 平行, 散射
portant;"> 流量	portant;"> 15-50 sccm
portant;"> 通氣	portant;"> Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
portant;"> 典型壓力	portant;"> < 0.5m Torr
portant;"> 長度	portant;"> 39 cm
portant;"> 直徑	portant;"> 59 cm
portant;"> 中和器	portant;"> LFN 2000

工藝流程:

該正極片的制備在離子束濺射室內進行, 將鋁箔作為基片, 將定量的塊體硫和塊體碳作為靶材.

在開始工藝前, 需要將離子束濺射室抽真空后, 然后利用KRI 射頻離子源 RFICP380 將通入的氬氣離化為氬離子, 氬離子束以不同的功率交替轟擊塊體硫和塊體碳, 將硫原子和碳原子分別濺射出來, 沉積到鋁箔表面, 即獲得帶有硫碳復合材料的鋰硫電池正極片.

KRI 射頻離子源 RFICP380 特性:

1. 大面積射頻離子源

2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求

3. 采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求

4. 離子束流: >1500 mA

5. 離子動能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自動控制器, 一鍵自動匹配

8. RF Generator 可根據工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW

9. 離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝

10. 柵極材質鉬和石墨, 堅固耐用

11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

為了給離子束濺射室提供 10-4 Pa真空度, 該制造商采用伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700抽真空. 其技術參數如下:

portant;"> 2707-Operating voltage: V DC	portant;"> 48 (± 5 %) V DC
portant;"> Ar 的壓縮比	portant;"> > 1 · 1011
portant;"> Ar 的抽速	portant;"> 665 l/s
portant;"> Ar 的最終轉速時的氣體流量	portant;"> 3.5 hPa l/s \| 2.62 Torr l/s \| 3.5 mbar l/s
portant;"> H2 的壓縮比	portant;"> 4 · 105
portant;"> H2 的抽速	portant;"> 555 l/s
portant;"> H2 的最終轉速時的氣體流量	portant;"> > 14 hPa l/s \| > 10.5 Torr l/s \| > 14 mbar l/s
portant;"> He 的壓縮比	portant;"> 3 · 107
portant;"> He 的抽速	portant;"> 655 l/s
portant;"> He 的最終轉速時的氣體流量	portant;"> 10 hPa l/s \| 7.5 Torr l/s \| 10 mbar l/s
portant;"> I/O 接口	portant;"> RS-485, 遠程, Profibus
portant;"> N2 的壓縮比	portant;"> > 1 · 1011
portant;"> N2 的抽速	portant;"> 685 l/s
portant;"> N2 的最大預真空	portant;"> 11 百帕
portant;"> N2 的最終轉速時的氣體流量	portant;"> 6.5 hPa l/s \| 4.88 Torr l/s \| 6.5 mbar l/s
portant;"> 不帶氣鎮的最終壓力	portant;"> 1 · 10-7 百帕
portant;"> 允許冷卻水的溫度	portant;"> 15 – 35 °C 攝氏度
portant;"> 冷卻水消耗最小值	portant;"> 100 l/h
portant;"> 冷卻水耗量	portant;"> 100 l/h
portant;"> 冷卻類型, 可選項	portant;"> 空氣
portant;"> 冷卻類型, 標準	portant;"> 水
portant;"> 聲壓水平	portant;"> ≤50 dB(A) 分貝 (A)
portant;"> 安裝方向	portant;"> 任何
portant;"> 排氣連接	portant;"> G 1/8"
portant;"> 接口, 擴展	portant;"> Profibus
portant;"> 方位	portant;"> 混合動力
portant;"> 最大允許磁場	portant;"> 6 mT
portant;"> 根據 PNEUROP 的最終壓力	portant;"> < 1 · 10-7 百帕
portant;"> 電子驅動單元	portant;"> 帶有 TC 400
portant;"> 電流最大值	portant;"> 8,75 A
portant;"> 耗電量 max.	portant;"> 420 瓦
portant;"> 轉速 ?± 2 %	portant;"> 49,200 rpm \| 49,200 min-1
portant;"> 轉速可變化	portant;"> 60 – 100 %
portant;"> 運行時間	portant;"> 2 分
portant;"> 連接法蘭（入口）	portant;"> DN 160 ISO-F
portant;"> 連接法蘭（出口）	portant;"> DN 25 ISO-KF/G ?"
portant;"> 重量	portant;"> 12.1 千克
portant;"> 防護等級	portant;"> IP54

運行結果:

能夠精確控制濺射量, 獲得混合均勻的硫碳復合材料.

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考夫曼射離子源RFICP380輔助濺射沉積制備鋰硫電池正極片

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