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KR考夫曼聚焦射頻離子源RFICP380輔助制備原子探針樣品

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   上海某大學(xué)研究中心采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 FRICP380  輔助制備三維原子探針樣品, 主要是對(duì)三維原子探針樣品進(jìn)行蝕刻, 使樣品變薄

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):

portant;">

射頻離子源型號(hào)

portant;">

RFICP380

portant;">

Discharge 陽極

portant;">

射頻 RFICP

portant;">

離子束流

portant;">

>1500 mA

portant;">

離子動(dòng)能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

30 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦, 平行, 散射

portant;">

流量

portant;">

15-50 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長度

portant;">

39 cm

portant;">

直徑

portant;">

59 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

 KRI 考夫曼離子源 RFICP 380

運(yùn)行結(jié)果:

1. 采用 KRI 考夫曼射頻離子源 FRICP380可以克服鋯合金脆斷的問題

2. 制備得到的樣品滿足了三維原子探針觀察樣品的要求

3. 可實(shí)現(xiàn)三維原子探針樣品的快速, 便捷, 高效制備

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅先生                               臺(tái)灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
[email protected]                      [email protected]
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