伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):

客戶采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380 產(chǎn)生離子束不斷轟擊源極靶材和工件, 工件在離子束轟擊下迅速被加熱至高溫, 源極靶材在轟擊作用下濺射出的合金元素不斷奔向工件表面, 經(jīng)沉積擴(kuò)散過程形成一定厚度的涂層.

運(yùn)行結(jié)果:

1. 具有沉積薄膜速度快, 厚度容易控制等特點(diǎn)

2. 涂層的SEM形貌觀測(cè)顯示涂層均勻, 致密, 無明顯孔洞缺陷, 涂層厚度約為10um, 過度層厚度約為3um.

3. 涂層的力學(xué)性能及磨損性能分析顯示, 涂層的臨界載荷達(dá)到81.75N, 遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足工程要求, 涂層與基體結(jié)合良好.

4. 在高溫（500℃）下, TiN的摩擦系數(shù)更穩(wěn)定.

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

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